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| ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½º¢ß | ||||||||||||||||||||||||||
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| ȨÆäÀÌÁö | https://www.parksystems.com | |||||||||||||||||||||||||
| Áֿ俬Çõ | 1997³â: ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½º â¾÷2015³â ÄÚ½º´Ú »óÀå 2015³â: º§±â¿¡ ¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸¼Ò imec°ú ¿øÀÚÇö¹Ì°æ °øµ¿°³¹ßÇÁ·ÎÁ§Æ®(JDP) ÆÄÆ®³Ê·Î ¼±Á¤ 2015³â:¿øÀÚÇö¹Ì°æ Á¦Á¶±â¼ú ´ëÇѹα¹ ±¹°¡Çٽɱâ¼ú·Î ÁöÁ¤ 2015³â: ÄÚ½º´Ú »óÀå 2020³â: º§±â¿¡ ¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸¼Òimec°ú µÎ ¹øÂ° JDP ¼öÇà 2021³â: ½Ã°¡ÃÑ¾× 1Á¶¿ø ´Þ¼º 2022³â: µ¶ÀÏÀÇ Ã·´Ü°èÃøÀåºñ±â¾÷ ¾ÆÅ¥¸®¿Â(Accurion GmbH) Àμö 2022³â ¸ÅÃâ 1,000¾ï¿ø ´Þ¼º 2023³â, 2024³â: ¸ÅÃâ¾× ±âÁØ ±Û·Î¹ú ¿øÀÚÇö¹Ì°æ ½ÃÀå Á¡À¯À² 1À§ |
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| ÁÖ¿ä±â¼ú | ÷´Ü ³ª³ë °èÃø Àåºñ ¹× °èÃø ±â¼ú °³¹ß (1) ¿øÀÚÇö¹Ì°æ ±â¹Ý °èÃø ±â¼ú (2) ³ª³ë±¤ÇÐ ±â¹Ý °èÃø ±â¼ú(WLI, Ellipsomtery) (3) In-line ÀÚµ¿ °èÃø, °Ë»ç±â¼ú (4) ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ »õ·Î¿î ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇÏ´Â ³ª³ë°èÃø ±â¼ú °³¹ß |
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| ȸ»ç°Á¡ |
(1) ±¹³» À¯ÀÏÀÇ ¿øÀÚÇö¹Ì°æ °³¹ß »ý»ê ÆÇ¸ÅÇÏ´Â ±Û·Î¹ú³ª³ë°èÃøÀü¹®±â¾÷ (2) ¿øÀÚÇö¹Ì°æ ¿øÃµ ±â¼ú º¸À¯ ±â¾÷ (3) ³ª³ë°èÃø, ³ª³ëºÐ¼®, ³ª³ë¸Ó½Ã´× µî ³ª³ë±â¼ú ¹ßÀü¿¡ ±â¿© (4) ¹Ì±¹, ÀϺ», µ¶ÀÏ, Áß±¹ µî ÁÖ¿ä°ÅÁ¡¿¡ ÇöÁö¹ýÀÎ ¼³¸³, ÀÚüºê·£µå·Î ¼¼°è ½ÃÀå °³Ã´ (5) ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ °èÃø¿ë ¿øÀÚÇö¹Ì°æ °³¹ß, Àü¼¼°è ÁÖ¿ä ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¶óÀο¡ in-line AFM 200¿©´ë °ø±Þ (6) 2015³â ÄÚ½º´Ú »óÀå ÀÌÈÄ 7³â ¿¬¼Ó ¿¬Æò±Õ 30% ¸ÅÃâ¾× ¼ºÀå (7) ¸ð¹üÀûÀÎ ±â¾÷Áö¹è±¸Á¶¿Í ÀÌ»çȸ ¿î¿µ, ±â¾÷¼³¸íȸ(IR), Åõ¸í°æ¿µ µîÀ¸·Î ÀÚº» ½ÃÀå¿¡¼ ½Å·Ú¹Þ´Â ±â¾÷À¸·Î ¼ºÀå (8) À¯¿¬±Ù¹«Á¦·Î Àϰú »îÀÇ ±ÕÇüÀ» ÀÌ·ç´Â ±â¾÷¹®È Á¶¼º |
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